半導体研究開発・試作装置メーカーのサムコは、同社設立以降のプラズマCVD装置やドライエッチング装置、ドライ洗浄装置などの半導体製造装置の販売台数が累計で5000台を達成したことを発表した。記念すべき5000台目となる並行平板型リアクティブイオンエッチング装置「RIE-200NL」の納入先は東北大学。最大8インチまでのSi、poly-Siなどの各種シリコン薄膜およびGaNやGaAsなどの化合物半導体の高精度エッチングが可能な多目的の研究開発装置である。
東北大学の共用ファシリティに設置
東北大学 西澤潤一記念研究センターにおいてマイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)が運営する共用ファシリティ「試作コインランドリ」に設置され、外部利用者も利用可能な設備として、CMOS回路やMEMSセンサ、光電融合分野のデバイスの研究開発のほか、実践的な人材育成に活用される予定であるという。
サムコから東北大への装置納入に際して通算5000台達成記念の大型デジタル時計を贈呈した際の記念写真。左から東北大マイクロシステム融合研究開発センターの森山雅昭 准教授、同センター長の戸津健太郎 教授、サムコ代表取締役社長の川邊史氏 (出所:サムコ)
半導体・MEMSの研究開発と実践的人材育成に活用
同センター長の戸津教授は、「半導体分野では、研究開発だけでなく人材ニーズも高まっている。また、施設には小片チップから8インチウェハまで多種多様なサイズの試料が持ち込まれているが、RIE-200NLはそれらに柔軟に対応できるため、幅広い利用者のニーズに応える使い勝手のよい装置になると期待している」と述べている。
なお、同大の試作コインランドリは、国内最大級の半導体・MEMS共用施設で、1800m2のクリーンルームに150台以上の半導体関連装置を備え、利用者は時間単位で装置を利用できる。技術スタッフによる支援のもと、東北大のプロセス技術や試作ノウハウを活用できるのが特長で、2010年の運用開始以来、大学・研究機関・企業・スタートアップなど400以上の機関に利用されているという。
服部毅 日米両国の大学院で半導体専攻、工学博士。米国電気化学会(ECS)フェロー。ソニーに30年余り勤務後、技術コンサルタント、月刊Electronic Journal編集顧問、日経xTECHテクノ大喜利レギュラー回答者などを歴任。現在、マイナビニューースTECH+に海外半導体業界・学会動向、先端技術情報を中心に執筆。
